粉塵対策のエンジニアリング集団 集塵装置の最適なフードの設計、集塵機選定からクリーンルームまで

粉塵対策の達人.comのソリューション

粉塵対策の達人.comでは、集塵機、フィルター・濾布販売、クリーンルーム、クリーンブースから脱臭機まで、機器の選定からフード設計、現地施工、メンテナンス修理までトータルエンジニアリング企業としてお客様のニーズにお応えします。

クリーンルームの特徴

特徴1   クリーンルーム案件は設計から施工まで「ワンストップ」で対応します。
クリーンルーム案件は設計から施工まで
特徴2   床工事(コンクリート打設)、天井パネル、壁パネルの支持用鉄骨組工事等の建築工事から対応します。
特徴3   クリーンルーム専用のメンテナンス部隊が維持管理に貢献します。

クリーンルームの方式

クリーンルームの方式

クリーンルームの機能等の比較

項目 乱流式 層流式
垂直式 水平式
清浄度 クラス 10,000~300,000 クラス100前後 上流下流
クラス100~1,000~10,000
クロスコンタミネーション あり なし あり
換気回数 20~50回/時 400~200回/時 100~200回/時
自己清浄度 小(遅い) 大(早い) 大(早い)
気流分析 過流、気流の流れを生じやすい
室内発塵の影響 清浄度が影響される ほとんど影響なし 下流への影響を与える
特に局所的影響が大きい
内部間仕切 制約あり 制約なし 気流と直交方向制約あり
風速 0.25m/s~0.50m/s 0.45m/s
改造・増築 容易 困難 困難
フレキシビリティ 小(遅い) 最大
建設費 安い 最も高い 高い
保守費 安い 高い 高い

1.垂直層流式クリーンルーム

垂直層流式クリーンルーム

天井全面にHEPAフィルターを設置し、照明器具を除く天井全面から空気を吹出す。
換気回数は300~400回/時以上になる。
吸込口は床面に、全床面積の60%以上設ける。
層流状態を保つには照明器具を天井面の面積の20%以下にすることがポイント。

2.水平層流式クリーンルーム

水平層流式クリーンルーム

壁面全体から清浄空気を吹出し、反対側の壁面で吸込む。
換気回数は200~300回/時程度になる。
作業員等の発塵体があるとその下流は汚染されるので清浄度は低下する。
吹出口付近ではクラス100程度の清浄度が得られるが一般的に12m~18mの部屋でクラス10,000程度となる。
但し腹部切開手術ではこの水平層流式のクリーンルーム(手術室)が使用される。

3.ミニエンバイロメント方式

ミニエンバイロメント方式

局所クリーンルームであり、全域を高清浄域にするダウンフロー方式でなく、プロセスゾーンのみクリーン装置を採用しISOクラス1~4を維持しクリーンルーム全体は清浄度を落とし、クリーンルームの運用コストを下げる。

4.ハイブリット局所方式

ハイブリット局所方式

局所方式クリーンルームの一種で一方向流と非一方向流のハイブリットタイプのクリーンルームです。
清浄度はクラス1,000程度が確保出来る。
必要なエリアで必要な風量を得るための工夫がいる。

5.クリーントンネル方式

クリーントンネル方式

IC・LSI製造工程に主として適用される。
マスク・ウェーバーなど、特に最高清浄度を要するプロセスをトンネル内にレイアウトする。ISOクラス1~4を維持できる。

6.乱流ダクト方式

乱流ダクト方式

基本的なクリーン方式で各分野で広く採用され制御対象によってはクラス1,000まで対応出来る。
建設コスト及び運転コストを最も低く出来る。

7.乱流天井チャンバー方式

乱流天井チャンバー方式

8.乱流ファン引張方式

乱流ファン引張方式

クラス・規格について

清浄度規格比較

アメリカ連邦規格Fed. Std. 209D
(1ft3中に含まれる0.5μm以上の微粒子数 個/ft3

Fed.Std.209D 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm
クラス1 35 8 3 1
クラス10 350 75 30 10
クラス100 3,500 750 300 100
クラス1,000 35,000 7,500 3,000 1,000 7
クラス10,000 10,000 70
クラス100,000 100,000 700

JIS規格JIS B 9920 ISO規格 ISO 14644-1
(1m3中に含まれる0.1μm以上の微粒子数 個/m3

JIS ISO 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm F.S 209D相当
クラス1 10 -101 2
クラス2 100 -102 24 10 4
クラス3 1,000 -103 237 102 35 クラス1
クラス4 10,000 -104 2,370 1,020 352 クラス10
クラス5 100,000 -105 23,700 10,200 3,520 29 クラス100
クラス6 1,000,000 -106 237,000 102,000 35,200 293 クラス1,000
クラス7 -107 352,000 2,930 クラス10,000
クラス8 -108 3,520,000 29,300 クラス100,000

実績について

光学機器関連産業 写真フィルム製造・乾燥 写真フィルム製造・乾燥 100~10,000
時計・精密機器 マイクロフィルム現像、乾燥 マイクロフィルム現像、乾燥 100~10,000
光学機器組立 光学機器組立 100~10,000
光学機器塗装、試験、検査 光学機器塗装、試験、検査 100~100,000
精密電子部品 精密電子部品 1000~100,000
磁気ヘッド 磁気ヘッド 1000~10,000
光ファイバー 光ファイバー 1000~10,000
ミニチュアベアリング ミニチュアベアリング 50~100,000
精密測定器製造 精密測定器製造 1000~100,000
クリーンパイプ・バルブ類製造 クリーンパイプ・バルブ類製造 100~100,000
普通ベアリング 普通ベアリング 10,000~100,000
化粧品 化粧品製造、充填 化粧品製造、充填 10,000~100,000
クリーニング 無塵衣クリーニング 無塵衣クリーニング 100~10,000
印刷・製版 印刷・製版 印刷・製版 10,000~100,000
合成樹脂ゴム 医薬品容器、手術用手袋 医薬品容器、手術用手袋 100~10,000
人工腎臓 人工腎臓 100~10,000
高級ラテックス 高級ラテックス 100~10,000
病院、医療関連 手術室 手術室 1000~100,000
調剤室 調剤室 1000~100,000
医薬品製造 医薬品生産工場 医薬品生産工場 100~100,000
秤量室 秤量室 1000~10,000
滅菌室 滅菌室 1000~100,000
製剤包装ライン 製剤包装ライン 1000~100,000
動物実験室 バリアシステム バリアシステム 1000~100,000
食品加工工場 醸造工場 醸造工場 100~100,000
飲料ボトリング 飲料ボトリング 1000~10,000
魚肉加工包装室 魚肉加工包装室 10,000
食肉加工ハンバーグ仕込室 食肉加工ハンバーグ仕込室 10,000
食肉加工ハンバーグ冷却室 食肉加工ハンバーグ冷却室 1000~10,000
食肉加工ハム包装室 食肉加工ハム包装室 10,000
牛乳・乳製品 牛乳・乳製品 100~100,000
清酒・ビール・ワイン 清酒・ビール・ワイン 1000~10,000
餅・豆腐 餅・豆腐 1000~10,000
飲料水工場生ジュース充填 飲料水工場生ジュース充填 1000~10,000
ジャム充填(ペースト充填) ジャム充填(ペースト充填) 10,000
きのこ培養 きのこ培養 1000~100,000
製麺冷却包装 製麺冷却包装 1000~100,000
惣菜包装 惣菜包装 10,000~100,000
菓子工場 センベイ包装室 センベイ包装室 10,000
製菓・製パン 製菓・製パン 1000~10,000
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