粉塵対策のエンジニアリング集団 集塵装置の最適なフードの設計、集塵機選定からクリーンルームまで

集塵 なんでもQ&A

クリーンルーム対応

フィルターのリークはどの様に調べるのですか。

フィルター設置部及びろ材面をサンプリングプローブで走査し、リークの有無を確認する。サンプリングプローブは被検出面より25~50mm程度の距離を速度約50mm/secで走査する。

上流側測定値の吸引量は2.83L/min(0.1CF)、下流側測定器の吸引量は28.3L/min(1CF)とする。

測定中、粒子が計測された場合、その位置で定点測定を行い連続カウントの有無を確認する。

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