粉塵対策のエンジニアリング集団 集塵装置の最適なフードの設計、集塵機選定からクリーンルームまで

集塵 なんでもQ&A

クリーンルーム対応

清浄度クラスはどの様に決めるのですか。

クリーンルームには、インダストリアルクリーンルーム(ICR)とバイオロジカルクリーンルーム(BCR)があり、BCRでは管理対象が浮遊微生物であり、バクテリアの大きさが0.5μm以上である。

またICRでは半導体製造工場では制御対象が0.1μm程度になる。

従って、清浄度決定には業種毎に管理対象の浮遊物が1㎥ もしくは1立方フィートの中に何個まで許容出来るかにより決定する。

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