集塵　なんでもQ＆A

パーティクルカウンターを用いて測定する。

・測定対象粒径は0.1～5μmの範囲とする。

・吸引流量：Vｓ＝20/対象粒径粒子の１㎥当りの数×1,000

但し各測定点での吸引量は2L以上、吸引時間は１分以上とする。

・測定点数：N＝√A

※A：クリーンルームの床面積（㎡）

点数が１点の場合は、同一点で最低３回サンプリングを行う。