粉塵対策のエンジニアリング集団 集塵装置の最適なフードの設計、集塵機選定からクリーンルームまで

集塵 なんでもQ&A

クリーンルーム対応

粉塵の粒子数はどのように測定するのですか。

パーティクルカウンターを用いて測定する。

・測定対象粒径は0.1~5μmの範囲とする。

・吸引流量:Vs=20/対象粒径粒子の1㎥当りの数×1,000

但し各測定点での吸引量は2L以上、吸引時間は1分以上とする。

・測定点数:N=√A

※A:クリーンルームの床面積(㎡)

点数が1点の場合は、同一点で最低3回サンプリングを行う。

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