集塵 なんでもQ&A
クリーンルーム対応
粉塵の粒子数はどのように測定するのですか。

パーティクルカウンターを用いて測定する。
・測定対象粒径は0.1~5μmの範囲とする。
・吸引流量:Vs=20/対象粒径粒子の1㎥当りの数×1,000
但し各測定点での吸引量は2L以上、吸引時間は1分以上とする。
・測定点数:N=√A
※A:クリーンルームの床面積(㎡)
点数が1点の場合は、同一点で最低3回サンプリングを行う。
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パーティクルカウンターを用いて測定する。
・測定対象粒径は0.1~5μmの範囲とする。
・吸引流量:Vs=20/対象粒径粒子の1㎥当りの数×1,000
但し各測定点での吸引量は2L以上、吸引時間は1分以上とする。
・測定点数:N=√A
※A:クリーンルームの床面積(㎡)
点数が1点の場合は、同一点で最低3回サンプリングを行う。